KYKY Қытайда турбо молекулалық сорғының, коммерциялық гелийдің ағу детекторының және сканерлейтін электронды микроскоптың алғашқы жиынтығын ойлап тапты.
1970 жылдары KYKY, SEM филиалы KYKY Қытайда бірінші сканерлеуші электронды микроскопты сәтті жасады.
SEM үлгісін дайындауға арналған шашыратқыш жабын, үлгіні алдын ала өңдеу.
Орташа газ: ауа немесе аргон, аргон кіретін және ауа инфляциясының микрожалғысы бар. Тапсырыс бойынша қол жетімді, мысалы (қаптаманың қалыңдығын өлшейтін құралмен жабдықталған)
Артықшылықтары:
шағын өлшем; пайдаланушыға ыңғайлы жұмыс; металдың көп бөлігіне бейімделген; Аргон режимі қол жетімді.
Ерекшеліктер:
Жұмыс камерасының диаметрі: | 75-150 мм |
Вакуумдық жүйе | Эвакуацияға арналған айналмалы сорғы, 2л/с |
Депозит мөлшерлемесі: | 2-10 нм/мин |
Қуат: | 220В/50Гц |
Шыны өңдеу камерасы | ∮100 мм; Биіктігі 130 мм. |
Үлгі сатысының өлшемі: | ∮40 мм (6 кесе үлгісін ұстаңыз) |
Алтын нысана өлшемі: | 58 мм*0,12 мм (қалыңдығы) |
Вакуумды анықтау: | Пирани Гейдж |
Вакуумдық қорғаныс: | Микроөлшемді инфляциялық клапаны бар 20 па |
Орташа газ: | Аргон немесе арнайы газ кіретін ауа мен шағын ауқымда реттелетін газ. |
Қолданбалар:
Электронды сканерлеуге дайын үлгі (шашырауға қабілетті, алтын, күміс, мыс, титан және алюминий.)