Магниттік левитирленген молекулалық сорғылар - бұл магниттік күштің әсерінен айналуы қамтамасыз етілетін сорғылар.
Магнитті легирленген сериялық молекулалық сорғылар - бұл жартылай өткізгішті өндіру, чиптер жасау, өнеркәсіптік қаптау және ғылыми аспаптар салаларына қойылатын талаптарды қанағаттандыру үшін KYKY әзірлеген вакуумдық генераторлық жабдық.
Технологиялар:
- Магнитті мойынтіректерді басқару технологиясы: Қабылданған электромагниттік 5 осьті магниттік левитацияланған. Бұл конструкция жоғары жылдамдықтағы вентиляцияның тұрақты левитирленген және сенімді жұмыс сияқты маңызды артықшылықтарына кепілдік беру үшін озық халықаралық басқару теориясына негізделген динамикалық белсенді жабық тізбекті магнитті суспензияны басқару технологиясының көмегімен динамикалық жауап беруге және уақытылы реттеуге ие бола алады.
- Қозғалтқышты басқару технологиясы: Қозғалтқыштың максималды энергиясына ие болу және айналу жиілігін автоматты түрде өтеу үшін тұрақты іске қосу, сенімді жұмыс және автоматты реттеуді жүзеге асыру үшін магнитті левитирленген сорғыларға жоғары тиімді жоғары жылдамдықты тұрақты ток қозғалтқышы мен серво басқару жүйесі қолданылады. динамикалық энергияның функциясы.
- Көміртекті талшықты композициялық ротор технологиясы: Сериялық магнитті суспензиялы молекулалық сорғылардың турбо роторлары жоғары беріктігі бар алюминий қорытпасы мен жеңіл көміртекті талшықтарды біріктіру арқылы жасалады. Барлық алюминий қорытпалы роторлармен салыстырғанда, турбо роторлар жоғары айналу жылдамдығына, жоғары өнімділікке және жоғары сенімділікке қол жеткізуге мүмкіндік беретін салмақтың айтарлықтай төмендеуімен және беріктігінің жақсаруымен сипатталады.
- Коррозияға қарсы технология: Сериялық магнитті суспензиялы камералық бөлшектердің беттері молекулалық сорғылардың өңдеулері арнайы процесспен өңделеді, осылайша беттер жартылай өткізгішті өндіру процесінде коррозиялық газдардың әсерінен болатын коррозияға қарсы тұра алады. Сонымен қатар, N2 сияқты инертті газдар сорғылардың төменгі вакуумдық бөліктерін қорғау үшін сорғылардың біліктерімен толық толтырылады, осылайша ұзақ уақыт бойы коррозиялық газдардың тұрақты сарқылуы функциясы жүзеге асады.
- Жылыту температурасын реттеу жүйесі: Магнитті легирленген сериялы молекулалық сорғылар электр жылытқышы мен температураны реттегішпен жабдықталған, осылайша жұмыс кезінде суық суды, ауаны сүйектен жылытуды, электрлік жылытуды және қорғаныш газдармен тасымалданатын жылуды бақылауға және бақылауға болады, сорғылардағы температураны ұстап тұруға болады. ұзақ уақытқа белгілі бір құндылықтар, кейбір газ тәрізді заттар қалыпты температурада қатты заттарға айналмайды және сорғыларға салынбайды, сондықтан арнайы өңдеу процесіне қойылатын талаптарды қанағаттандыруға болады.
Артықшылықтары:
1. Жұмыс кезінде нөлдік үйкеліс және қуатты аз тұтыну
2. Сорғыларға майлаусыз таза жоғары вакуумды және өте жоғары вакуумды алу оңай
3. Ұзақ мерзімді коррозиялық газдарды шығаруға қабілетті
4. Мойынтіректерді дәл керамикалық шарлармен қорғаудың арқасында жоғары қауіпсіздік пен ұзақ қызмет мерзімі
5. кенеттен өшіру жағдайында қуат өндіру функциясы
Ерекшеліктер:
Үлгі |
CXF-200/1401E |
Сорғы жылдамдығы (л/с, ауа) |
1400 |
Сығылу коэффициенті |
> 1 × 107 |
Соңғы вакуум (Па) |
≤2 × 10-6 |
Кіріс фланеці |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
Шығу фланеці |
KF 40 |
Айналу жылдамдығы (айн / мин) |
33000 |
Жұмыс уақыты (мин) |
6 |
VIB (мм) |
<0,05 |
Артқы сорғы (л/с) |
15 |
Монтаждау немесе енгізу |
Кез келген |
Салқындату әдісі |
Су |
Салмағы (кг) (контроллермен) |
51 |
Қолданбалар:
Магнитті левитирленген сериялы молекулалық сорғылар негізінен жартылай өткізгіштік өндіріс, қысқыш өндіру, өнеркәсіптік қаптау және ғылыми аспаптар саласына қолданылады, әсіресе тотықта, КВД, ПВД және ион имплантациясында бар коррозиялық газдарды және қалыпты температурада оңай коагуляцияланатын газдарды алу үшін қолданылады.