Магнитті левитирленген сорғы, CXF-320/3001E, суды салқындату, ISO-F, бортта
Магниттік левитирленген молекулалық сорғылар - бұл магниттік күштің әсерінен айналуы қамтамасыз етілетін сорғылар.
Магнитті легирленген сериялық молекулалық сорғылар - бұл жартылай өткізгішті өндіру, чиптер жасау, өнеркәсіптік қаптау және ғылыми аспаптар салаларына қойылатын талаптарды қанағаттандыру үшін KYKY әзірлеген вакуумдық генераторлық жабдық.
Артықшылықтары:
1. Жұмыс кезінде нөлдік үйкеліс, және қуатты аз тұтыну
2. Сорғыларды майлаусыз өте жоғары вакуумды және өте жоғары вакуумды алу оңай
3. Ұзақ уақыт бойы коррозиялық газдарды алу мүмкіндігі
4. Мойынтіректерді дәл керамикалық шарлармен қорғаудың арқасында жоғары қауіпсіздік және ұзақ қызмет мерзімі
5. кенеттен өшіру жағдайында энергияны шығару функциясы
6. Үйкеліссіз
7. Ластанудан тазартылған
8. Техникалық қызмет көрсетусіз
9. Төмен діріл
10. кез келген бағытта орнатылған.
Қолданбалар:
Магнитті левитирленген сериялы молекулалық сорғылар негізінен жартылай өткізгіштік өндіріс, қысқыш өндіру, өнеркәсіптік қаптау және ғылыми аспаптар саласына қолданылады, әсіресе тотықта, КВД, ПВД және ион имплантациясында бар коррозиялық газдарды және қалыпты температурада оңай коагуляцияланатын газдарды алу үшін қолданылады.
Ерекшеліктер:
| Үлгі | CXF-320/3001E |
| Сорғы жылдамдығы (л/с, ауа) | 3200 |
| Сығылу коэффициенті | > 1 × 108 |
| Соңғы вакуум (Па) | ≤5 × 10-7 |
| Кіріс фланеці | ISO-F 320 |
| Шығу фланеці | KF 40 |
| Айналу жылдамдығы (айн / мин) | 24000 |
| Жұмыс уақыты (мин) | 12 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Артқы сорғы (л/с) | 15 |
| Монтаждау немесе енгізу | Кез келген |
| Салқындату әдісі | Су |
| Салмағы (кг) (контроллермен) | 75 |
Технологиялар:
- Магнитті мойынтіректерді басқару технологиясы: 5-осьті магниттік левитированный, халықаралық бақылаудың алдыңғы қатарлы теориясына негізделген, жоғары жылдамдықты вентиляцияның тұрақты левитирленген және сенімді жұмыс сияқты маңызды артықшылықтарына кепілдік береді.
- Қозғалтқышты басқару технологиясы: Қозғалтқыштың максималды энергиясына ие жоғары жылдамдықты тұрақты ток қозғалтқышы мен серво басқару жүйесі, осылайша орнықты іске қосу, сенімді жұмыс және динамикалық энергияны автоматты реттеу функциясын жүзеге асыра отырып, айналу жиілігін автоматты түрде өтейді.
- Көміртекті талшықты композициялық ротор технологиясы: Жоғары беріктігі бар алюминий қорытпасы мен жеңіл көміртекті талшықты қосудан жасалған. жоғары айналу жылдамдығына, жоғары өнімділікке және жоғары сенімділікке қол жеткізу үшін салмақтың айтарлықтай төмендеуімен және беріктігінің жақсаруымен сипатталады.
- Коррозияға қарсы технология: Камералардағы бөлшектердің беттері арнайы өңдеумен өңделеді, осылайша беттер жартылай өткізгішті өндіру процесінде коррозиялық газдардың әсерінен болатын коррозияға қарсы тұра алады. Сонымен қатар, N2 сияқты инертті газдар сорғылардың төменгі вакуумдық бөліктерін қорғау үшін сорғылардың біліктерімен толық толтырылады, осылайша коррозиялық газдардың ұзақ уақыт бойы тұрақты сарқылуы функциясы жүзеге асады.
- Жылыту температурасын реттеу жүйесі: электр жылытқышы мен температура реттегішімен жабдықталған, салқындатқыш сумен, ауа сүйегінен жылытумен, электрлік жылумен және қорғаныш газдар арқылы тасымалданатын жылумен жұмыс кезінде бақылауға және бақылауға болады, сорғылардағы температураны ұзақ уақыт, кейбір газ күйінде ұстап тұруға болады. заттар қалыпты температурада қатты заттарға айналмайды және сорғыларға салынбайды, сондықтан арнайы өңдеу процесіне қойылатын талаптарды қанағаттандыруға болады.