RV-6 және ZDF-11B5 бар FJ-620 сорғы станциясы
Конфигурациялар:
| Аты | Сан |
| F-160/620 молекулалық сорғы және қуат көзі | 1 |
| RV-6 механикалық сорғы | 1 |
| Рамка | 1 |
| Электрмен жабдықтауды бақылау | 1 |
| ZDF-11B5 аралас вакуумды өлшеуіш | 1 |
| Басқа тіркемелер |
Негізгі параметрлер:
Вакуумдық жүйенің ағу жылдамдығы: ≤ 1 × 10-9Па · м3/С.
Қуат көзінің кернеуі: 380В ± 10/50Гц
Салқындату режимі: ауада немесе суда салқындату
Жабдықты пайдалану үшін қоршаған орта температурасы: 5-40 ℃
Жабдықты пайдалану үшін қоршаған ортаның ылғалдылығы: ≤ 80%
Ерекшеліктер:
| Бірлік | FJ-620 | |
| Фланец (кіретін) | DN150 CF | |
| DN150 ISO-K | ||
| Фланец (шығыс) | ISO-KF | DN40 |
| Айдау жылдамдығы | л/с | N2: 600 |
| Ол: 380 | ||
| H2: 240 | ||
| Ар: 580 | ||
| Сығылу коэффициенті | N2: 109 | |
| Ол: 105 | ||
| H2: 104 | ||
| Ар: 109 | ||
| Шекті қысым | Па | CF: 5 × 10-5 |
| вакуумдық қысым үшін ұсынылған | Па | 100 |
| вакуумдық сорғы | RV-6 (әдепкі) | |
| Салқындату түрі, стандартты | Ауа немесе су | |
| Суытатын су тұтыну | Л/мин | > 1 |
| Суыту температурасы | ℃ | ≤25 |
| Кіріс кернеуі/ жиілігі | V/Гц | 380 ± 20/50 |
| Қоршаған орта температурасы (℃) | Суды салқындату | 5 ℃ -40 |
| Ауаны салқындату | 5 ℃ -32 ℃ | |
| монтаждау орны | Тігінен | |
| Контроллер моделі | TCDP- | |
| L*W*H | мм | 550 × 690 × 956 (LF) |
| 550 × 690 × 970 (CF) | ||
| Салмағы | кг | 117 |
Хабарыңызды осында жазыңыз және бізге жіберіңіз