Бұл EM8000-дің жаңартылған нұсқасы, жаңартылған E-Beam түтік үдеткіші, вакуум режимі өзгереді, төмен вольттегі өткізбейтін үлгіні шашыратусыз бақылауға болады, жеңіл, ыңғайлы және ыңғайлы жұмыс жүйесі, қайта жөндеудің бірнеше жоспары. Бұл сонымен қатар ажыратымдылығы 1 нм (30 кВ) болатын бірінші FEG SEM.
Артықшылықтары:
1, Schittky электронды мылтығы, жоғары жарықтығы, жақсы монохроматтылығы, сәуленің кішкентай нүктесі, ұзақ қызмет мерзімі.
2, E-сәулелік түтікше акклерациясымен, қосымша саты тежелуімен
3, Тұрақты сәулелік ток, энергияның таралуы төмен
4, өткізбейтін үлгі төмен вольтты шашырамай бақылайды
5, қарапайым, ыңғайлы және ыңғайлы жұмыс интерфейсі
6, үлкен 5 осьті моторлы саты
Ерекшеліктер:
Конфигурация | |
Ажыратымдылық | 1км 30кВ (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
Ұлғайту | 15x-800,000x |
Жедел кернеу | 0-30 кВ үздіксіз және реттелетін |
Электронды қару | Schottky далалық эмиссиялық қаруы |
Катодты эмиттер | Вольфрам монокристалл |
Бес осьті эвцентриктік автотаспа | X: 0 ~ 150мм |
Y: 0 ~ 150мм | |
Z: 0 ~ 60мм | |
R: 360 ° | |
Т: -5 °~75 ° | |
Максималды үлгі | 320 мм |
L*W*H | 342мм*324мм*320мм (камераның ішкі өлшемі) |