Артықшылықтары:
Бұл сорғы сериясы қоршаған орта жағдайында жақсы жұмыс істейді (жоғары температура, шаң және т.
Қолданбалар:
Негізгі қосымшалар өнеркәсіптік ағып кетуді анықтау, PVD, CVD, ионды имплантациялау, вакуумды электронды компоненттерді өндіру, төмен шыны, ITO әйнегі, оптикалық жабын, күн батареялары, электронды пучокпен дәнекерлеу, вакуумды пеш және басқа салаларда қолданылады.
Ерекшеліктер:
Фланец (ішке) | DN400 ISO-K | Бүкіл жердегі газ | N2: 5500 |
Фланец (Шығу) KF | DN100 | Ол: 4000 | |
Айдау жылдамдығы (л/с) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Ол: 2650 | Сағат: 2100 | ||
H2: 1280 | Айналу жылдамдығы (айн / мин) | 13500 | |
Тұрғылықты жері: 3200 | Орындау уақыты (мин) | ≤18 | |
Сығылу коэффициенті | N2: 108 | Салқындату түрі, стандартты | Су |
Ол: 103 | Салқындатқыш су шығыны (л/мин) | ≥1 | |
H2: 102 | Салқындатқыш судың температурасы | ≤25 | |
Ар: 108 | Қуат қосылымы: кернеу (айнымалы ток) | DC24/AC220 | |
Шекті қысым (Па) | 6 × 10-6 | Максималды қуат шығыны (Вт) | ≤ 1100 |
Максимум Үздіксіз вакуумдық қысым (Па) | 100 | Контроллер моделі | FD-III |
Максимум Алдыңғы вакуумдық қысым | N2: 300 | Салмағы (кг) | 130 |