ZDF-62B5
-
Біріктірілген вакуумды өлшеуіш, ZDF-62B5, 10E5-10E-7 Pa, 6 ілмек, Rs485
ЗДФ-62В5 үлгісі құрама вакуумометр төмен вакуумды өлшеу қондырғыларының 2 жиынтығынан және жоғары вакуумды өлшеу қондырғыларының 1 жиынтығынан тұрады. Өлшеуге қол жеткізу үшін қарсылық өлшегіштің бір бірлігі (RG 2) қолданылады (1,0 × 10E5Pa～1,0 × 10Е-7Pa) тәуелсіз, иондану өлшегішімен біріктірілген қарсылық өлшегіш бірлігі (RG1), бірлік ретінде, үздіксіз бақылау мен өлшеуге қол жеткізуі керек (1 × 10E5)～1 × 10Е-7Pa).
